06/01/2027 12:00 (heure de Paris) Réponse électronique obligatoire pour cette consultation, sans signature électronique. DUME défini par l'acheteur
AOO-22-2026
Acquisition et installation d'un équipement de profilométrie optique confocal laser à haute résolution en Z
L’acquisition d’un profilomètre optique confocal laser à haute résolution en z permettra au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM) de combler un manque d’outils de métrologie optique pour permettre de faire du contrôle dimensionnel rapide et résolu sur les futurs microstructures 3D qui sont envisagées pour les composants du futur. Le nouvel équipement doit ainsi permettre la reconstruction 3D de profils de dimensions latérales micrométrique et de dimensions verticales sub micrométriques et micrométriques, avec une haute résolution en z (sub 20 nm à fort grossissement) ainsi que de mesurer de la nano topographie et de la rugosité sub 100mm par interférométrie sur de grands champs.
Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation

Temps restant pour répondre (délai d'acheminement inclus) : Dans 59 jour(s) 19 heure(s) 5 minute(s)

Temps d'acheminement avec un débit de 128 kbs, il faut 1 minute par Mo de réponse (estimation donnée à titre indicatif) En savoir plus

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Étape 1 : Sélection du rôle

Étape 2 : Sélection du mode de candidature

Information Il est possible d'enregistrer le DUME en brouillon avant de le valider au moment du dépôt de la réponse
Certificat Le DUME proposé dans le cadre de cette consultation a été pré-rempli par l'acheteur.

Ce mode de candidature permet de déposer un pli de manière standard : les documents de candidature (exemples : DC1, DC2…) sont à déposer en pièces libres à l'étape suivante de réponse à la consultation.

Étape 3 : Déclaration du groupement

Si vous répondez à cette consultation sous forme de groupement, vous pouvez renseigner ici vos co-traitants et les éventuels sous-traitants du groupement.
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Souhaitez-vous décrire un groupement ? *
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Champ obligatoire Entreprise n'existe pas
Champ obligatoire Champ obligatoire

Étape 4 : Répondre à la consultation

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