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05/05/2025 12:00 (heure de Paris) Réponse électronique non obligatoire pour cette consultation. Dispositions sur la signature électronique, se référer au RC ou à l'AAC.
13FCS2025
Acquisition elipsiomètre in situ
Le contrat porte sur les prestations suivantes : Achat et installation d’un Ellipsomètre in situ. Dans le cadre de ses recherches, le GREMI souhaite acquérir un ellipsomètre in situ afin de mesurer l’épaisseur gravée ou déposée lors de procédés (ALD/ALE) dédiés à la microélectronique. Le fournisseur devra proposer un ellipsomètre in situ, pour des mesures en temps réel et l’installer sur un réacteur plasma équipés de brides DN40 en vis-à-vis (avec un angle de 70°).
Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation

Temps restant pour répondre (délai d'acheminement inclus) : Dans 4 jour(s) 3 heure(s) 15 minute(s)

Temps d'acheminement avec un débit de 128 kbs, il faut 1 minute par Mo de réponse (estimation donnée à titre indicatif) En savoir plus

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