Détail de la consultation
11/09/2026 12:00
(heure de Paris)
B26-02048-NJ
Equipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides
Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique.
Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques.
Autres organismes
-
-
-
Autres organismes
-
AO / CEA / CEA / GRENOBLE - CENTRE DE GRENOBLE
-
Annonce de consultation
-
Procédure avec négociations
-
-
Fournitures
-
Non
-
(38) Isère
-
31712100 (Code principal)
-
Temps restant pour répondre (délai d'acheminement inclus) : Dans 19 jour(s) 2 heure(s) 1 minute(s)
Temps d'acheminement avec un débit de 128 kbs, il faut 1 minute par Mo de réponse (estimation donnée à titre indicatif) En savoir plusTESTER A L'AVANCE SON POSTE DE TRAVAIL
En savoir plusBourse à la cotraitance
Aucune entreprise inscrite à la bourse à la cotraitance pour cette consultation.
Téléchargement
Pièces de la consultation
Liste des pièces téléchargées
Aucun résultat trouvé
Liste des questions posées
Aucun résultat trouvé
Vous devez être connecté pour accéder aux actions ci-dessous.
Étape 2 : Déclaration du groupement
Si vous répondez à cette consultation sous forme de groupement, vous pouvez renseigner ici vos co-traitants et les éventuels sous-traitants du groupement.
Le SIRET est invalide
Souhaitez-vous décrire un groupement ?
*
Type de groupement
Renseigner le groupement:
Ajouter un co-traitant :
Champ obligatoire
Entreprise n'existe pas
Champ obligatoire
Étape 3 : Répondre à la consultation
Accéder au service de dépôt d'un pli
Contenus transmis
Aucun résultat trouvé